Spectromètre, chambre ultravide de préparation et de transfert (détail)

Spectromètre, chambre ultravide de préparation et de transfert (détail)

Microscopie

Équipement

Responsable : AOUINE Mimoun

Microscope électronique à transmission

JEOL 2010 LaB6

Description
Il permet de travailler en plusieurs modes :
TEM : microscopie conventionnelle, haute résolution et micro-diffraction
CBD : faisceau convergent pour l’analyse structurale.
NBD : nano-diffraction (diffraction à l’échelle nanométrique).
EDX : microanalyse par dispersion d’énergie des photons émis par l’échantillon sous l’effet de l’impact des électrons incidents.

Caractéristiques techniques
Tension 200 kV
Résolution : 0.19 nm entre points et 0.14 nm en franges de réseau
Porte-objets simple tilt et double tilt
Camera TV
Analyseur EDX Link ISIS d’Oxford Instrument

Microscope électronique à transmission

JEOL 2010 FEG

Description
Ce microscope est installé dans les locaux de l’INSA et géré par le CLYME (Consortium Lyonnais de Microscopie Electronique).

Il permet de travailler en plusieurs modes :
TEM : microscopie conventionnelle, haute résolution et micro-diffraction
CBD : faisceau convergent pour l’analyse structurale.
NBD : nano-diffraction (diffraction à l’échelle nanométrique).
EDX : microanalyse par dispersion d’énergie des photons émis par l’échantillon sous l’effet de l’impact des électrons incidents (cartographie, lignes de profil).

Caractéristiques techniques
Tension 200 kV
Résolution : 0,19 nm entre points et 0.14 nm en franges de réseau
Porte-objets : simple tilt, double tilt et froid
Camera CCD
Camera CCD SLOW SCAN
STEM (Scanning Transmission Electron Microscopy) couplé à un détecteur champ sombre annulaire à grand angle (HAADF : High Angle Annular Dark Field)
Analyseur EDX INCA d’Oxford Instrument
Spectromètre de perte d’énergie GATAN

Émission électronique à effet de champ

Microscopie électronique à balayage (MEB)

FEI ESEM-XL30

Description
Dans le cadre du CLYME, l’IRCELYON et ses partenaires disposent d’un microscope électronique à balayage environnemental basé à l’INSA. L’intérêt de ce nouvel appareil est d’une part de ne plus nécessiter la métallisation de l’échantillon (possibilité d’observer des objets hydratés), d’autre part, d’observer des matériaux sous un environnement expérimental donné en terme de pression (10-5 torr à 10 torr), de température (de - 20°C à 1500°C) et de composition de gaz (H2, O2, N2, H2O, …).

Il est possible d’effectuer de la microscopie électronique à balayage au Centre Technologique des Microstructures (CTµ) de l’UCBL (self service après formation sur HITACHI S800) ou à l’INSA (MEB JEOL 840 avec analyse X associée).

Microscope électronique à balayage